Nzacha buru ibu na nke bara uru maka oke nkenke na mmepụta semiconductor
Nkọwa
Nzacha Gas Dị Elu - Emebere ya kpọmkwem maka nzacha gas dị oke ọcha na mmepụta semiconductor. Ejiri ígwè anaghị agba nchara 316L mepụta ya nke ọma, o nwere ọtụtụ kọlụm ma ọ bụ nhazi diski media iji hụ na ọ na-eguzogide obere nguzogide na ọnụego mmiri dị elu, yana izi ezi nzacha ruru 0.003μm iji mezuo ihe achọrọ maka ịdị ọcha dị elu. Ihe owuwu ígwè niile na-eme ka ọ bụrụ ngwọta nzacha kacha mma maka gburugburu ebe okpomọkụ dị elu.
Njirimara Ngwaahịa
▶Ọdịdị ígwè anaghị agba nchara 316L niile— Na-eme ka o sie ike ma na-eguzogide nchara.
▶Ọnụego Mmiri Dị Elu, Nguzogide Dị Ala— Emebere ya nke ọma maka oke mmiri na-erugharị nke ọma na obere mfu nrụgide.
▶Arụmọrụ Njide Ihe Ndị Dị Elu nke Ugboro Elu— Ọ dị mma maka ịnọgide na-enwe ọnọdụ dị ọcha nke ukwuu.
▶Na-eguzogide Okpomọkụ Dị Elu, Nrụgide, na Nrụgide— Dabara adaba maka gburugburu ebe siri ike.
▶Dakọtara na ụdị gas dị iche iche- Ọ dị mfe iji maka ọtụtụ ngwa ụlọ ọrụ.
▶Ọ dị mma maka imepụta, nnwale, na nkwakọ ngwaahịa dị ọcha— Zuru oke maka ojiji na gburugburu ebe a na-achịkwa.
▶Nnwale Iguzosi Ike n'Ezi Ihe 100%— A na-anwale nzacha ọ bụla nke ọma maka nkwenye ịdị mma.
▶Nnwale Ntanye Helium 100%— E gosipụtara ya site na nnwale mmiri helium iji hụ na a pụrụ ịtụkwasị ya obi na ngwa ndị dị mkpa.
Akwụkwọ data
Usoro Nkà na ụzụ
| Paramita | Nkọwapụta |
|---|---|
| Ihe nzacha ihe | 316L ntụ ntụ igwe anaghị agba nchara a gwakọtara agwakọta |
| Ihe Ụlọ | 316L igwe anaghị agba nchara |
| Nrụgide Ntinye Kachasị Elu | Ogwe 207 |
| Nrụgide Dị Iche Iche Ọrụ Kachasị Elu | Ogwe 5.2 |
| Ọnụego Nnwale Nnwale Helium | 2 x 10⁻¹⁰ cc/nkeji |
| Ọnụego ntapu mmiri nke nnwale helium | 1 x 10⁻¹⁰ cc/min |
| Ọgwụgwọ Elu | |
| Elu Mpụta | Ra < 1.6 μm |
| Elu Dị n'ime | Ra < 0.2 μm |
| Oke Okpomọkụ Ọrụ Kachasị | |
| Gas Na-adịghị Agbanwe | 400-500℃ |
| Gas na-emebi emebi na nke na-emeghachi omume | 50℃ |
| Arụmọrụ Njide Ihe Ngwugwu | ≥99.9999999% (9LRV) @ 30 slpm |
| Ịdị ọcha dị n'okpuru ala | ≤0.03 irighiri ihe/lita @ > 0.01 μm, 30 slpm |
| Nha Njide Ihe Ndị Na-eme Ka Mkpụrụ Ngwụcha Dị | ≥0.003 μm |
Nha
Nke a bụ nọmba akụkụ ị nwere ike ịtụ na nkọwa nha:
| Ụdị Ngwaahịa | Ihe nzacha ihe | Izi ezi nke nzacha (μm) | Ụdị Njikọ |
|---|---|---|---|
| Z01B-00647 | 316L Igwe anaghị agba nchara | 10~0.003 | 1/4” |
| Z01B-00648 | 316L Igwe anaghị agba nchara | 10~0.003 | 1/2” |
| Z01B-00649 | 316L Igwe anaghị agba nchara | 10~0.003 | 1/8” |
| Z01B-00650 | 316L Igwe anaghị agba nchara | 10~0.003 | 1” |
| Nhazi | 316L Igwe anaghị agba nchara | 10~0.003 | Dịka ọ dị mkpa |
Ngwa Ndị A Na-ahụkarị
ụfọdụ ngwa nkịtị nkeNzacha dị elu na nke bara urunaIhe nzacha mmiri gas na gas pad:
1. Mmepụta Semiconductor
*Na-ahụ na e nwere ezigbo gas dị ọcha maka imepụta wafer, ịkpụ ihe, na usoro nchekwa vapor kemịkalụ (CVD).
*Na-ejigide ịdị ọcha dị elu na sistemụ nkesa gas buru ibu maka nitrogen, argon, na gas ndị ọzọ na-ebu ibu.
2. Mmepụta Ọgwụ
*Na-enye gas dị ọcha na nke na-enweghị ihe dị n'ime ya maka ebe nrụpụta dị mkpa.
*Na-akwado nzacha dị ọcha maka ụlọ dị ọcha na gburugburu ebe a na-achịkwa iji nọgide na-enwe iguzosi ike n'ezi ihe nke ngwaahịa.
3. Sistemụ Gas Ụlọ Nyocha
* A na-eji ya eme ihe n'ụlọ nyocha iji mee ka mmiri gas dị ọcha na ngwa nyocha dịka gas chromatography na mass spectrometry.
*Na-ahụ na gas dị ọcha nke ukwuu maka nyocha na nnwale ngwa, na-echebe ngwaọrụ ndị nwere mmetụta.
4.Nri na nhazi ihe ọṅụṅụ
*Na-enyocha CO₂ na gas ndị ọzọ e ji eme ka carbon dị na ya, nkwakọ ngwaahịa, na nchekwa, na-echekwa nchekwa na ịdị mma nri.
*Na-ahụ na ikuku gas na-enweghị mmetọ n'ime ụlọ ọrụ nhazi, ọkachasị maka ụlọ ọrụ gas buru ibu.
5. Ụlọ ọrụ mmanụ na gas
*Na-asachapụ iyi gas sitere n'okike na nzacha pad gas, na-ewepụ ihe ndị na-emerụ emerụ tupu echekwa ma ọ bụ bufee ya.
*Na-echebe akụrụngwa ndị dị n'ala ala site na iwepụ ihe ndị na-adịghị mma, mmiri mmiri, na ihe ndị na-adịghị mma na sistemụ gas na-agba ọsọ nke ukwuu.
6. Mmepụta Kemịkalụ
* Na-enyocha gas ndị dị ka nitrogen na argon nke e ji mee ihe na mmepụta kemịkalụ na mmeghachi omume.
*Na-edobe ịdị ọcha nke gas iji gbochie mmetọ na mmeghachi omume na-adịghị mma.
7.Aerospace na Nchedo
*Na-enye gas dị ọcha nke ukwuu n'ebe mmepụta na nnwale maka ihe na ihe ndị dị na mbara igwe.
*Na-ahụ na ikuku dị ọcha n'ebe a na-achịkwa maka mgbakọ ụgbọelu na ngwa nchekwa.
8. Mmepụta Ike (Ụlọ Ọrụ Ike)
*Na-asachapụ gas ndị nwere nrụgide dị elu maka oyi na nhazi, ọkachasị na ntọala okpomọkụ dị elu.
*Na-eme ka arụmọrụ dịkwuo mma ma na-ebelata iyi ngwa site na igbochi mmetọ na sistemu gas na-ajụ oyi na mmiri.
Ndị a fihe ndị dị mkpa n'ọrụ ọ bụla chọrọ ikuku gas dị ọcha, na-agbanwe agbanwe, na-eme ka nchekwa akụrụngwa ka mma,
arụmọrụ usoro, na ịdị mma ngwaahịa ikpeazụ n'ofe ụlọ ọrụ.
Zitere anyị ozi gị:
