Onye nrụpụta ihe nzacha dị elu na-enye njikwa mmiri kpọmkwem maka ngwa Fab na ụlọ nhicha
Onye Mmepụta Ihe Nzacha Dị Ọcha Dị Elu Na-enye Njikwa Mmiri Ziri Ezi
maka Ngwa Fabs na Cleanroom
Nkọwa
E mere nzacha HENGKO Surface Mount iji mezuo ihe achọrọ nke sistemu gas agbakwunyere eji na ngwaọrụ OEM semiconductor. Site na nzacha kachasị elu n'ụlọ ọrụ na 0.003 µm, nzacha ndị a na-ahụ na arụmọrụ na ntụkwasị obi pụrụ iche yana arụmọrụ mgbochi ihe nke ≥99.9999999% (9-LRV) na 120 slpm.
E ji ntụ ntụ ígwè siri ike nke 316L nke e ji ígwè anaghị agba nchara mee rụọ ya maka ihe nzacha na ebe obibi ya, ihe nzacha ndị a kwekọrọ na nkọwapụta SEMI F86-0304, nke nwere ihe dị n'ọdụ ụgbọ mmiri abụọ nke e mere maka sistemụ nkesa gas 1.125” nwere nhazi C-seal. Ha na-akwado nrụgide ntinye kachasị elu nke 3.4 MPa na 100°C na oke nrụgide ọrụ nke 0.69 MPa na 100°C.
Ihe nzacha pụrụ iche ndị a, nke dakọtara na nkọwapụta akara ụdị C na nke ụdị W, na-eme ka ihe dị ọcha site na mwepụta nke ihe ndị dị n'ime ya
Na njedebe elu nke Ra< 1.6 µm n'èzí na RaN'ime ụlọ ahụ, ha dị ihe dịka 0.13 µm, e mere ha ka ha nagide okpomọkụ dị elu ruo 460°C. E mepụtara ha maka njikọta dị mfe na nkwalite nhazi modular, ihe nzacha ndị a na-eme ka ntinye na mmezi dị mfe, na-enyere aka ime ka arụmọrụ sistemụ dịkwuo mma na nnyefe gas semiconductor na ngwa njikwa.
Njirimara Ngwaahịa
▶ N'ozuzu ya, ihe owuwu ígwè anaghị agba nchara 316L
▶ Nhazi pere mpe, nhazi dị obere, na-echekwa ohere
▶ Njirimara nnọchi na mwepụ gas dị mma
▶ Oke okpomọkụ, nrụgide dị elu, na iguzogide nchara
▶ Ụlọ igwe anaghị agba nchara 316L nke a na-eji elektrọnik kpụọ
▶ Ntinye na mmezi dị mfe ma dị irè
▶ Ihe mkpuchi igwe, nke a na-anaghị ejikọta ya na ihe eji arụ ọrụ
Akwụkwọ data
| Usoro Nkà na ụzụ | Ụkpụrụ |
|---|---|
| Ihe nzacha ihe | Ntụ ntụ anwụrụ nke ígwè anaghị agba nchara 316L |
| Ihe Ụlọ | 316L Igwe anaghị agba nchara |
| Nrụgide Ntinye Kachasị Elu | 3.4 MPa @ 100°C |
| Ihe dị iche n'ọrụ kachasị elu | 0.69 MPa @ 100°C |
| Ọnụego Nnwale Nnwale Helium | 1x10⁻¹¹¹ cc/nkeji |
| Ọnụego ntapu ule helium | 1x10⁻⁹ cc/nkeji |
| Ọgwụgwọ Elu | Mpụta Elu Ra< 1.6 μm |
| Ra Elu Dị n'ime< 0.13 μm | |
| Okpomọkụ Ọrụ Kachasị Elu | 460°C |
| Arụmọrụ Nchikota Ihe Ngwugwu | ≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (MPPS ntụaka, ihe niile dị na ya) |
| Ịdị ọcha dị n'okpuru ala | Mwepụta nke ihe ndị dị n'ime ya:< 0.03 ihe ndị dị n'ime otu lita (< 1 obere ihe/ft³) |
| Ndị na-agbanwe agbanwe:Mmiri mmiri <10 ppb | |
| Nha Nchikota Mkpụrụ | ≥0.003 μm |
| Oke Mmiri Na-asọ | 0 ~ 120 slpm |
Nha
Nke a bụ nọmba akụkụ ị nwere ike ịtụ na nkọwa nha:
| Ụdị Ngwaahịa | Ọnụego Mmiri | Ogologo H (mm) | Nhazi Nzacha | Ọkwa nhicha |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51.6 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82.9 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126.2 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167.9 | 0.003 μm | C |
Ngwa Ndị A Na-ahụkarị
Maka ojiji na W-seal na C-seal, sistemụ nnyefe gas modular nke 1.125” na 1.5” dị n'elu.
Zitere anyị ozi gị:
