Ihe nzacha igwe igwe anaghị agba nchara maka sistemu ịsacha gas nke Semiconductor
Ihe nzacha igwe eji arụ ọrụ n'ime ahịrị na-arụ ọrụ ịchụpụ adịghị ọcha gụnyere mmiri, oxygen, carbon dioxide, carbon monoxide, hydrocarbons na carbonyl metal site na iji akwa ihe na-emeghachi omume.A na-achụpụ ihe ndị na-adịghị ọcha site na iyi gas na mpaghara ebe nzacha urughuru ọdịnala na-adịghị arụ ọrụ.Ihe anyị na-enye mwepụ ihe mmetọ dị n'okirikiri na-enweghị inye ọla ma ọ bụ ihe mmetọ ndị ọzọ na-emerụ ahụ na iyi usoro.
All-metal elu-eru nzacha na-egbo nchegbu na mkpa inye urughuru free usoro gas n'ebe nnyefe.Inline metal gas filter bụ asintered igwe anaghị agba nchara nzachana ụlọ igwe anaghị agba nchara.Anyị na-ewere ngwaahịa ahụ site na mgbasa ozi nzacha sintered (sintered igwe anaghị agba nchara nyo) n'ụzọ niile na ngwaahịa ikpeazụ, ihe nzacha gas na-eji na-emepụta ngwaahịa ndị dị ka semiconductor, panel panel panel, na mbara igwe.
Dị ya nasintered metal nyofiltration maka usoro gas niile.Na-abịa n'ụdị dabara adaba dị iche iche iji gboo mkpa nwụnye ndị ahịa anyị.Dị na teknụzụ nzacha 0.1 µm iji gboo mkpa kacha achọ nke nnyefe nnukwu gas dị ọcha.
Ngwa:
Gasị ndị na-adịghị arụ ọrụ
Gas dị mma
Gasị ndị na-adịghị arụ ọrụ
Mmiri hydride
Perfluorocarbon na ikuku corrosive.