Nchịkọta Mmepụta Semiconductor

Ụlọ ọrụ semiconductor gụnyere usoro dị mgbagwoju anya nke chọrọ ihe dị ọcha dị elu na njikwa ihe ruru unyi kpọmkwem.

Ojiji nke nzacha dị elu dị oke mkpa iji nọgide na-enwe iguzosi ike n'ezi ihe nke usoro mmepụta.

Ihe nzacha na-arụ ọrụ dị oke mkpa n'iwepụ ihe ndị na-emerụ ahụ, ihe ndị na-emerụ ahụ, na ihe ndị ọzọ na-adịghị mma nke nwere ike imetụta ịdị mma nke ngwaahịa ikpeazụ.

Usoro Nhazi Semiconductor

Nhazi semiconductor gụnyere ọtụtụ usoro, gụnyere nhazi mechanical chemical (CMP) iji mee ka elu wafer dị nro, fotolithography, na ntinye ihe nkiri dị gịrịgịrị.

Nzọụkwụ ọ bụla chọrọ ngwọta nzacha kpọmkwem iji hụ na ewepụrụ ihe ndị na-emerụ ahụ na ịnọgide na-enwe ọnọdụ dị ọcha dị elu. Nke a gụnyere nzacha kemịkalụ nanzacha gasiji kpochapụ ihe ndị na-adịghị ọcha nke ọma.

Ojiji nke nzacha na usoro ndị a na-enyere aka igbochi ntụpọ ma hụ na emepụtara semiconductors dị elu.

Ngwọta Nzacha maka Mmepụta Semiconductor

Ngwọta nzacha maka imepụta semiconductor gụnyere nzacha ebe eji eme ihe (POU), nzacha akpụkpọ ahụ, na ebe a na-etinye nzacha, nke dị mkpa maka iwepụ ihe ruru unyi ma hụ na arụmọrụ nzacha dị mma. Emebere ngwọta ndị a iji nye nzacha dị elu, mbelata nrụgide dị ala, na ndụ ọrụ ogologo oge. A na-eji ha ewepụ ihe ndị na-emerụ ahụ, ihe ndị na-emerụ ahụ sitere na organic, na ihe ndị ọzọ na-adịghị ọcha site na mmiri mmiri, gas, na kemịkalụ. Mmiri dị oke ọcha dị oke mkpa n'ịnọgide na-enwe ọnọdụ dị ọcha, karịsịa na kemịkalụ usoro ịsacha site na wafers na ịgbaze kemịkalụ usoro siri ike.

Nzacha Dị Elu na Nhazi Semiconductor

Arụmọrụ nzacha dị oke mkpa na nhazi semiconductor iji hụ na ewepụrụ ihe ndị ruru unyi na ịnọgide na-enwe ọnọdụ enweghị ihe ndị dị ọcha, nke na-enweghị ihe ndị dị nro.

A na-eji nzacha nwere oke njigide ihe, ikike ime ihe, na ịdị ọcha iji nye nchebe dị elu maka usoro mmepụta semiconductor.

E mere nzacha ndị a iji nye ọrụ ogologo oge ma belata mkpa ọ dị ịgbanwe ihe ugboro ugboro.

Ụdị nzacha Semiconductor

Ihe nzacha semikondrọktọdị oke mkpa na usoro mmepụta semiconductor, ebe ha na-enyere aka ịnọgide na-enweịdị ọcha nke gas, mmiri mmiri, na ihe ndị ọzọ e ji emepụta ihe. Ha na-egbochi ihe ndị na-emerụ emerụ itinye aka na ihe ndị dị nro na mmepụta semiconductor. Lee ụfọdụ ụdị nzacha semiconductor a na-ejikarị eme ihe n'ụlọ ọrụ a:

1. Ihe nzacha ígwè a na-esi ísì ụtọ

E ji ihe dị ka ígwè anaghị agba nchara mee ihe nzacha ndị a, ha nwere obere oghere ndị e ji mee ha.ntụ ntụ ígwè na-esi ísìA na-eji ha ekpochapụ ihe siri ike site na gas ma ọ bụ mmiri mmiri, na-eme ka e nwee gburugburu ebe obibi dị ọcha maka imepụta semiconductor.

Ngwa:A na-eji ya eme ihe maka nzacha gas dị ọcha, dịka nitrogen ma ọ bụ argon, nakwa na sistemụ ikuku dị elu nke ukwuu.

2. PTFE (Polytetrafluoroethylene) nzacha

Ihe nzacha PTFE na-eguzogide kemịkalụ nke ukwuu ma nwee ike ijikwa mgbasa ozi ike. A na-ejikarị ha eme ihe na semiconductorụlọ ọrụ maka nzachanke gas na mmiri mmiri na-emebi emebi.

Ngwa:A na-ejikarị ya eme ihe n'ihe gbasara itinye anwụrụ kemịkalụ (CVD) na usoro ịkpụcha ihe.

3. Ihe nzacha seramiiki

A na-ejikarị ihe nzacha seramiiki eme ihe n'ebe okpomọkụ dị elu.ogherenhazi nke nzacha seramiiki na-enye ohere maka nzacha dị irè n'emebighị ịdị ọcha nke ihe ndị a na-enyocha.

Ngwa:A na-eji ya eme ihe maka usoro okpomọkụ dị elu, dịka n'ime ihe e ji eme ihe na-eme ka ion etching (RIE) ma ọ bụ ihe e ji eme ihe na plasma etching.

4. HEPA (Ikuku Nkịtị Dị Elu) Nzacha

E mere nzacha ndị a iji jide obere ihe ndị dị ntakịrị, nke na-adịkarị ala ruo 0.3maịkrọnN'ime ụlọ nhicha semiconductor, ihe nzacha HEPA dị oke mkpa maka idobe gburugburu ebe obibi dị ọcha nke ukwuu.

Ngwa:A na-eji ya eme ihe n'ime ụlọ dị ọcha yana dịka akụkụ nke sistemụ HVAC na semiconductor fab.

5. Nzacha Kabọn A Na-arụ Ọrụ

A na-eji nzacha carbon eme ihe iji dọba gas na uzuoku, gụnyere ihe ndị na-agbanwe agbanwe (VOCs) na ihe ndị ọzọ na-emerụ ahụ.

Ngwa:A na-ahụkarị ya n'ime sistemu ikuku ma ọ bụ n'ime usoro ebe a ga-asacha ikuku site na uzuoku kemịkalụ.

6. Nzacha zuru oke

A na-enye ihe nzacha ndị a ọkwa ka ha jide ụmụ irighiri ihe niile dị n'elu nha ụfọdụ ma nwee arụmọrụ dị elu. A na-ejikarị ha eme ihe maka ọkwa nzacha ikpeazụ, na-ahụ na ihe ọ bụla na-emerụ ahụ agaghị agafe.

Ngwa:A na-eji ya eme ihe n'oge ikpeazụ nke nzacha mmiri na gas dị oke ọcha na mmepụta semiconductor.

7.Nzacha Electrostatic

Ihe nzacha ndị a na-eji ike eletrik ejide ihe ndị dị obere nke ukwuu maka nzacha igwe. Ha dị irè n'ịsacha ájá dị nro na ọbụna ụfọdụ uzuoku.

Ngwa:A na-eji ya eme ihe n'ebe dị mkpa ka e jide obere ihe ma ọ bụ aerosol nke ọma.

8.Nzacha nke Gas

A na-eji nzacha ndị a eme ihe kpọmkwem maka nzacha gas, ọtụtụ mgbe n'ebe ịdị ọcha dị oke mkpa. Ha nwere ike iwepụ ihe ndị na-emerụ ahụ, VOCs, na ihe ndị ọzọ na-emerụ ahụ site na gas eji emepụta semiconductor.

Ngwa:A na-eji ya na sistemụ nnyefe gas maka usoro dịka photolithography ma ọ bụ deposition chemical vapor.

Nhọrọ nke nzacha kwesịrị ekwesị dabere n'ụdị ihe nzacha a na-asacha, ihe ndị na-emerụ ahụ a ga-ewepụ, na ọnọdụ ọrụ (okpomọkụ, nrụgide, na ndakọrịta kemịkalụ).

9. Ngwa Nzacha Pụrụ Iche

Ụlọ ọrụ semiconductor na-agbanwe mgbe niile, nateknụzụ nzachana-aga n'ihu iji mezuo ihe achọrọ nke mmepụta ọgbọ na-abịa. Teknụzụ nzacha na-apụta, dị ka nanofiltration na nzacha membrane dị elu, na-enye arụmọrụ na irè ka mma n'iwepụ ihe ndị na-emerụ emerụ. Ngwọta ndị a kachasị ọhụrụ na-eme ka mmepụta nke kemịkalụ na gas dị ọcha, nke dị mkpa maka nhazi semiconductor. Site na itinye teknụzụ nzacha dị elu ndị a, ndị nrụpụta nwere ike nweta mmụba dị elu, belata ọnụego ntụpọ, na mmụba mmepụta. Ka ụlọ ọrụ ahụ na-aga n'ihu na-aga n'ihu, mmepe nke teknụzụ nzacha ọhụrụ ga-arụ ọrụ dị mkpa n'inyere mmepụta nke semiconductors pere mpe, ngwa ngwa, na ike karịa.

Mmetụta Gburugburu Ebe Obibi nke Sistemụ Nzacha

Sistemụ nzacha eji eme ihe n'imepụta semiconductor nwere ike inwe nnukwu mmetụta gburugburu ebe obibi, ọkachasị n'ihe gbasara oriri ike na mmepụta ihe mkpofu. Ojiji nke ngwọta nzacha dị elu nwere ike inye aka belata oriri ike ma belata mmepụta ihe mkpofu. Ịhọrọ ụlọ nzacha na-adịghị ize ndụ gburugburu ebe obibi, dịka ndị e ji polyethylene dị elu mee, nwekwara ike inye aka belata mmetụta gburugburu ebe obibi nke sistemụ nzacha. Na mgbakwunye, iji mmiri dị ọcha eme ihe n'imepụta semiconductor nwere ike inye aka belata oke mmiri mkpofu a na-emepụta. Site n'itinye usoro nzacha na-adịghị ize ndụ gburugburu ebe obibi, ndị na-emepụta semiconductor nwere ike ibelata akara ha gburugburu ebe obibi ma nye aka na ọdịnihu na-adịgide adịgide.

Nyocha Uru na Ọnụ Ahịa nke Sistemụ Nzacha

Nnyocha uru na ọghọm nke sistemụ nzacha na mmepụta semiconductor dị oke mkpa iji hụ na uru nke nzacha karịrị ọnụ ahịa. Ngwọta nzacha dị elu nwere ike ibute nnukwu nchekwa ego site na ibelata mkpa maka nnọchi nzacha ugboro ugboro na ibelata oge nkwụsị. Ịhọrọ ụlọ nzacha nwere ndụ ọrụ ogologo nwekwara ike inye aka belata ọnụ ahịa mmezi ma mee ka usoro nzacha ahụ dị ogologo. Na mgbakwunye, iji sistemụ nzacha nwere ike inye aka belata ọnụ ahịa mkpofu ihe mkpofu ma belata mmetụta gburugburu ebe obibi nke mmepụta semiconductor. Site n'ime nyocha zuru oke na uru, ndị na-emepụta semiconductor nwere ike ijide n'aka na sistemụ nzacha ha dị mma maka arụmọrụ kachasị na ịdị irè ọnụ ahịa.

Ebe a na-etinye nzacha na nzacha ọrụ izugbe

E mepụtara sistemụ nzacha iji nye ụzọ dị mma na nke a pụrụ ịtụkwasị obi iji wụnye ma rụọ ọrụ nzacha na usoro mmepụta semiconductor, na-ahụ na mbelata ihe ruru unyi dị irè. Wafer silicon na-arụ ọrụ dị oke mkpa na ụlọ ọrụ a, ebe ọ bụ na ha dị mkpa maka imepụta semiconductor na ngosipụta, na-achọ mbelata ihe ruru unyi dị irè na nkwenye mma. E mepụtara nzacha ọrụ izugbe iji nye ngwọta dị ọnụ ala maka ngwa nzacha dị mfe ma dị mgbagwoju anya. A na-eji ha enye usoro nzacha a pụrụ ịdabere na ya na-enweghị imebi akụ.

Imeziwanye arụmọrụ mmepụta semiconductor

Ojiji nke nzacha na ngwọta nzacha dị elu nwere ike inye aka melite arụmọrụ mmepụta semiconductor. Itinye teknụzụ nzacha dị elu na njikwa mmetọ dị irè nwere ike ime ka arụmọrụ zuru oke dịkwuo mma. Ngwọta nzacha ndị a dị oke mkpa maka ngwa dị iche iche, gụnyere sekit agbakwunyere, iji nye nsonaazụ kacha mma na ịchekwa ego na ụlọ ọrụ ahụ.

Site n'iwepụ ihe ndị na-emerụ emerụ na ịnọgide na-enwe ọnọdụ dị ọcha dị elu, nzacha nwere ike inye aka belata ntụpọ ma melite mmepụta.

Ojiji nke nzacha nwekwara ike inye aka belata mkpa ọ dị ịgbanwe ihe mgbe niile ma belata oge ọrụ.