semiconductor gas nzacha

Kedu ihe kpatara iji jiri ihe nzacha gas na usoro nrụpụta semiconductor? 

Ihe nzacha gas dị mkpa na usoro nrụpụta semiconductor maka ọtụtụ ihe kpatara ya:

1. Mwepụ mmetọ

Nrụpụta Semiconductor gụnyere ọtụtụ usoro nwere mmetụta ebe ọbụlagodi obere mmetọ,

dị ka ụmụ irighiri uzuzu, mmiri mmiri, ma ọ bụ kemịkalụ, nwere ike inwe mmetụta ọjọọ. Ihe nzacha gas na-ewepụ

ihe na-eme ihe na-adịghị mma, ihe ndị na-adịghị ọcha na ikuku na-efe efe sitere na gas na-arụ ọrụ, na-eme ka gburugburu ebe obibi dị ọcha.

na ịnọgide na-eguzosi ike n'ezi ihe nke semiconductor wafers.

2. Na-edobe ụkpụrụ Ultra-ọcha

Ụlọ ọrụ semiconductor chọrọ ịdị ọcha dị oke elu na gas ndị a na-eji, dịka adịghị ọcha nwere ike

na-eduga na ntụpọ na ngwaọrụ semiconductor. Ihe nzacha gas na-enyere aka nweta ogo gas dị oke ọcha, na-egbochi

mmetọ na ịhụ na agbanwe agbanwe na ntụkwasị obi nke ngwaahịa.

3. Ngwa nchekwa

Mmetọ na gas nwere ike ọ bụghị naanị imerụ semiconductor wafers kamakwa mebie mmetụta uche

akụrụngwa eji na-emepụta usoro, dị ka chemical vapor deposition (CVD) reactors na

usoro etching. Ihe nzacha gas na-echebe igwe ndị a dị oke ọnụ site na mmebi, na-ebelata ihe ize ndụ nke

downtime na ọnụ nrụzi.

4. Na-egbochi mfu mkpụrụ

Mkpụrụ dị oke mkpa na nrụpụta semiconductor, ebe ntụpọ nwere ike ibute nnukwu mfu na mmepụta.

Ọbụna otu urughuru ma ọ bụ adịghị ọcha kemịkalụ nwere ike ibute mfu mkpụrụ, na-emetụta nrụpụta na uru.

Ihe nzacha gas na-agba mbọ hụ na ikuku nke usoro ahụ dị ọcha, na-ebelata mmetọ yana ibelata mfu mkpụrụ.

5. Na-ahụ maka ịdịmma ngwaahịa

Nkwenye na ịdị mma bụ ihe kacha mkpa na nrụpụta semiconductor. Gasị ndị mmetọ nwere ike ịmepụta

enweghị nkwekọrịta, na-eduga na ngwaọrụ semiconductor na-enweghị ntụkwasị obi. Site na iji ihe nzacha gas, ndị nrụpụta nwere ike

ekwe nkwa na batch ọ bụla na-emezu ụkpụrụ ịdị mma siri ike achọrọ, na-eduga na ngwaọrụ dị elu

arụmọrụ na ogologo ndụ.

6. Na-ebelata Downtime

Ihe na-emerụ emerụ na gas na-arụ ọrụ nwere ike ime ka akụrụngwa ghara ịda mbà, na-achọ ka mmezi ma ọ bụ dochie ya.

Site n'iji ihe nzacha gas, ndị na-emepụta nwere ike ibelata oge nkwụsịtụ na-atụghị anya ya, nọgide na-arụ ọrụ nke ọma, na

ịgbatị ndụ akụrụngwa dị egwu.

7. Ndakọrịta kemịkalụ

Ọtụtụ n'ime gas ndị a na-eji na usoro semiconductor na-emeghachi omume nke ukwuu ma ọ bụ na-emebi emebi. Ihe nzacha gas bụ

emebere ka iguzogide gburugburu kemịkalụ ndị a siri ike ma na-enyocha ihe adịghị ọcha nke ọma, na-ahụ

nhazi dị mma ma dị irè.

N'ozuzu, ihe nzacha gas dị mkpa maka idowe ịdị ọcha, ntụkwasị obi, na nchekwa nke semiconductor

usoro mmepụta ihe, na-enyere aka nweta ihe dị elu, ngwaahịa semiconductor na-enweghị ntụpọ mgbe

na-echebekwa akụrụngwa bara uru.

Ụdị ihe nzacha gas na usoro mmepụta semiconductor

N'ime usoro mmepụta nke semiconductor, a na-eji ụdị ihe nzacha gas dị iche iche mee ihe iji dozie dị iche iche

usoro na ihe ịma aka ndị metụtara ịdị ọcha gas na nchebe akụrụngwa.

Ụdị nzacha gas a na-ejikarị gụnyere:

1. Ihe nzacha dị iche iche

*Ebumnobi: Iji wepụ ahụ, uzuzu, na ndị ọzọ siri ike conteminants si nhazi gas.

*Ojiji: A na-etinyekarị ya na ọkwa dị iche iche iji chebe wafers, ụlọ nhazi, na akụrụngwa site na mmetọ ahụ.

* Akụrụngwa: A na-eme ya site na igwe anaghị agba nchara, PTFE, ma ọ bụ ihe ndị ọzọ na-ahụ maka ịdịte aka na kemịkalụ.

2. Ihe nzacha anụ ahụ ma ọ bụ kemịkalụ (ihe nzacha ihe nzacha)

*Ebumnobi: Iji wepụ kpọmkwem molekụla mmetọ, dị ka mmiri, oxygen, ma ọ bụ organic ogige, nwere ike dị na nhazi gas.

*Ojiji: A na-eji ya mgbe achọrọ gas dị ọcha, dị ka n'oge ntinye ego ma ọ bụ usoro etching.

* Akụrụngwa: A na-arụkarị ya site na iji unyi, zeolite, ma ọ bụ ihe mgbasa ozi ndị ọzọ emebere ka ọnyà adịghị ọcha.

3. Ihe nzacha gas dị ọcha

*Ebumnobi: Iji nweta ụkpụrụ gas dị ọcha (UHP), nke dị oke mkpa maka usoro semiconductor ebe obere adịghị ọcha nwere ike imetụta àgwà ngwaahịa.

*Ojiji: A na-eji ihe nzacha ndị a na usoro dị ka Chemical Vapor Deposition (CVD) na Plasma Etching, ebe adịghị ọcha nwere ike ịkpata nnukwu ntụpọ.

* Akụrụngwa: Ejiri igwe anaghị agba nchara nwere akpụkpọ anụ pụrụ iche iji nọgide na-eguzosi ike n'ezi ihe n'okpuru nrụgide dị elu na ọnọdụ dị oke egwu.

4. Nnukwu ihe nzacha gas

*Ebumnobi: Iji mee ka ikuku dị ọcha na ntinye ma ọ bụ tupu nkesa na ahịrị mmepụta.

*Ojiji: Debere elu na sistemụ nnyefe gas iji nyochaa gas n'ọtụtụ buru ibu tupu ebunye ha na ngwaọrụ ma ọ bụ reactors n'otu n'otu.

* Akụrụngwa: Ihe nzacha ndị a na-enwekarị ikike dị elu maka ijikwa nnukwu gas.

5. Ihe nzacha ihe eji eme ihe (POU).

*Ebumnobi: Iji hụ na gas ndị a na-enye na ngwá ọrụ nhazi ọ bụla enweghị ihe ọ bụla na-emerụ emerụ.

*Ojiji: arụnyere obere oge tupu ewebata gas na akụrụngwa usoro, dị ka etching ma ọ bụ deposition ụlọ.

* Akụrụngwa: Emere site na ihe dakọtara na gas reactive nke a na-eji na usoro semiconductor, dị ka ígwè sintered ma ọ bụ PTFE.

6. Ihe nzacha gas dị n'ime

*Ebumnobi: Iji nye nzacha inline maka gas na-agagharị na usoro nkesa.

*Ojiji: Awụnyere n'ime ahịrị gas na isi ihe, na-enye nzacha na-aga n'ihu na usoro ahụ dum.

* Akụrụngwa: Sintered igwe anaghị agba nchara ma ọ bụ nickel iji hụ na ndakọrịta kemịkalụ na gas.

7. Ihe nzacha Ugwu Gas dị n'elu

*Ebumnobi: A ga-etinye ya ozugbo na gas panel components iji wepụ ihe ndị na-emerụ emerụ na ụmụ irighiri ihe.

*Ojiji: A na-ahụkarị na oghere siri ike, nzacha ndị a na-enye nzacha ihe eji eme ihe nke ọma na ngwa dị oke egwu.

* Akụrụngwa: Igwe anaghị agba nchara dị elu maka ịdịte aka na ndakọrịta na gas na-emepụta semiconductor.

8. Ihe nzacha nke obere igwe

*Ebumnobi: Iji yochaa obere irighiri ihe, na-adịkarị obere ka nha obere micron, nke ka nwere ike ịkpata ntụpọ dị ukwuu na usoro semiconductor.

*Ojiji: A na-eji ya na usoro nke chọrọ ọkwa kachasị elu nke nzacha iji nọgide na-enweta gas dị ọcha, dị ka fotolithography.

* Akụrụngwa: Ngwongwo sintered dị elu ma ọ bụ ihe seramiiki nke nwere ike ijide ọnyà nke ọma ọbụna obere ihe.

9. Ihe nzacha carbon arụgoro arụ ọrụ

*Ebumnobi: Iji wepụ ihe ndị na-emerụ emerụ na ikuku ikuku.

*Ojiji: A na-eji ya na ngwa ebe ọ dị mkpa ka ewepụ ihe adịghị ọcha gas iji gbochie mmetọ wafer ma ọ bụ ọgba aghara mmeghachi omume.

* Akụrụngwa: Ihe carbon arụnyere arụ ọrụ emebere iji mee ka ụmụ irighiri ihe dị n'ahụ.

10.Ihe nzacha igwe anaghị agba nchara

*Ebumnobi: Iji wepụ particulates na adịghị ọcha nke ọma mgbe ị na-enye ike nhazi na iguzogide nrụgide dị elu.

*Ojiji: A na-eji ya n'ọtụtụ ọkwa nke usoro semiconductor ebe nzacha siri ike dị mkpa.

* Akụrụngwa: A na-ejikarị igwe anaghị agba nchara ma ọ bụ ọla ndị ọzọ na-eme ka ọ nagide gburugburu ebe obibi na kemịkalụ siri ike.

11.Ihe nzacha gas hydrophobic

*Ebumnobi: Iji gbochie mmiri ma ọ bụ ikuku mmiri ịbanye na mmiri gas, nke dị oke mkpa na usoro ụfọdụ nke na-enwe mmetụta na ọbụna ịchọta oke mmiri.

*OjijiA na-ejikarị eme ihe na usoro dị ka ihicha wafer ma ọ bụ etching plasma.

* Akụrụngwa: Membran hydrophobic, dị ka PTFE, iji hụ na gas na-anọgide na-enweghị mmetọ mmiri.

A na-ahọrọ ụdị ihe nzacha gas ndị a nke ọma na-adabere na njirimara ha kpọmkwem, ndakọrịta ihe, na adaba maka ọnọdụ pụrụ iche nke usoro mmepụta semiconductor. Ngwakọta ziri ezi nke nzacha dị mkpa maka ịnọgide na-enwe ọkwa kachasị elu nke ịdị ọcha gas, hụ na nkwụsi ike nke usoro, na igbochi ntụpọ na ngwaọrụ semiconductor.

Ụfọdụ ajụjụ gbasara ihe nzacha gas semiconductor

Ajụjụ 1:

Kedu ihe nzacha gas semiconductor na gịnị kpatara ha ji dị mkpa?

Ihe nzacha gas semiconductor bụ ihe dị oke mkpa na usoro nrụpụta semiconductor.

E mere ha iji wepụ ihe ndị na-adịghị ọcha na ihe ndị na-emerụ emerụ na gas ndị na-arụ ọrụ, dị kaoxygen,

nitrogen, hydrogen, na kemịkal gas dị iche iche.

Ihe adịghị ọcha ndị a nwere ike imetụta ịdịmma, mkpụrụ, na ntụkwasị obi nke ngwaọrụ semiconductor.

Site na nzacha mmiri gas nke ọma, ihe nzacha gas semiconductor na-enyere aka:

1.Maintain elu ịdị ọcha:

Gbaa mbọ hụ na gas ndị a na-eji na usoro nrụpụta enweghị ihe na-emerụ emerụ nke nwere ike imebi arụmọrụ ngwaọrụ.

2.gbochie mmebi akụrụngwa:

Chebe akụrụngwa semiconductor nwere mmetụta site na mmetọ na kemịkalụ, nke nwere ike bute nrụzi na nrụzi dị oke ọnụ.

3.Melite mkpụrụ ngwaahịa:

Belata ntụpọ na ọdịda nke adịghị ọcha na-ebu gas na-ebute, na-ebute mpụta mmepụta dị elu.

4.Enhance ngwaọrụ ntụkwasị obi:

Wedata mbibi ogologo oge nke ngwaọrụ semiconductor n'ihi nsogbu metụtara mmetọ.

Ajụjụ 2:

Kedu ụdị ihe nzacha gas semiconductor na-ahụkarị?

A na-eji ọtụtụ ụdị ihe nzacha gas na-emepụta semiconductor, nke ọ bụla e mere iji wepụ

kpọmkwem ụdị mmetọ.

Ụdị ndị a na-ahụkarị gụnyere:

1.Piculate nzacha:

Ihe nzacha ndị a na-ewepụ ihe ndị siri ike, dị ka uzuzu, eriri, na ihe igwe, site na iyi gas.

A na-ejikarị ihe ndị dị ka igwe sintered, seramiiki, ma ọ bụ nzacha akpụkpọ anụ.

2.Chemical nzacha:

Ihe nzacha ndị a na-ewepụ ihe ndị na-adịghị ọcha, dị ka uzuoku mmiri, hydrocarbons, na gas na-emebi emebi.

Ha na-adaberekarị na ụkpụrụ mgbasa ozi ma ọ bụ nnabata, na-eji ihe dị ka carbon arụ ọrụ,

molekụla sieves, ma ọ bụ kemịkalụ sorbents.

3.Ngwakọta nzacha:

Ihe nzacha ndị a na-ejikọta ike nke ihe nzacha particulate na kemịkalụ iji wepụ ụdị abụọ ahụ

ihe mmetọ. A na-ejikarị ha eme ihe na ngwa dị oke egwu ebe ịdị ọcha dị elu dị mkpa.

Ajụjụ 3:

Kedu ka esi ahọpụta ma chepụta ihe nzacha semiconductor gas?

Nhọrọ na imewe nke nzacha gas semiconductor gụnyere ọtụtụ ihe, gụnyere:

* chọrọ ịdị ọcha gas:

Ọkwa dị ọcha achọrọ maka iyi gas akọwapụtara na-ekpebi arụmọrụ na ikike nzacha nke nzacha.

* Ọnụego ọsọ na nrụgide:

Olu gas nke a ga-enyocha na nrụgide na-arụ ọrụ na-emetụta nha, ihe, na nhazi nke nzacha.

* Ụdị mmetọ na itinye uche:

Ụdị mmetọ a kapịrị ọnụ dị na mmiri gas na-ekpebi nhọrọ nke mgbasa ozi nzacha na nha pore ya.

* Okpomọkụ na iru mmiri:

Ọnọdụ ọrụ nwere ike imetụta arụmọrụ nzacha na ogologo ndụ.

* Ọnụ na mmezi:

A ghaghị ịtụle ụgwọ mbụ nke nzacha na ihe ndozi ya na-aga n'ihu.

Site na iji nlezianya tụlee ihe ndị a, ndị injinia nwere ike ịhọrọ ma chepụta ihe nzacha gas na-ezute kpọmkwem

mkpa nke a semiconductor mmepụta usoro.

Ugboro ole ka ekwesịrị iji dochie ihe nzacha gas na nrụpụta Semiconductor?

Oge ngbanwe nke nzacha gas na nrụpụta semiconductor dabere n'ọtụtụ ihe, gụnyere ụdị nke

usoro, ọkwa nke mmetọ, na ụdị nzacha a kapịrị ọnụ a na-eji. Dịka, a na-edochi ihe nzacha gas kwa oge

nhazi oge iji gbochie ihe ize ndụ ọ bụla nke mmetọ,Ọtụtụ mgbe kwa ọnwa 6 ruo 12, dabere na ọnọdụ ojiji

yana ndụmọdụ sitere n'aka onye nrụpụta nzacha.

Agbanyeghị, usoro ngbanwe nwere ike ịdịgasị iche dabere na gburugburu ebe ọrụ. Dị ka ọmụmaatụ:

* Usoro mmetọ dị elu:

Ihe nzacha nwere ike ịdị mkpa ka edochie ya ugboro ugboro ma ọ bụrụ na ekpughere ha na ọkwa dị elu

mmerụ ahụ ma ọ bụ molekụla.

* Ngwa dị egwu:

N'ime usoro na-achọ ịdị ọcha dị oke elu (dịka ọmụmaatụ, fotolithography), a na-edochikarị ihe nzacha

preemptively iji hụ na mma gas adịghị emebi.

Ileba anya nrụgide dị iche n'ofe nzacha bụ usoro a na-ahụkarị maka ịchọpụta mgbe achọrọ ka edochie nzacha.

Ka ihe mmetọ na-agbakọba, nrụgide nrụgide gafere nzacha na-abawanye, na-egosi mbelata arụmọrụ.

Ọ dị mkpa iji dochie ihe nzacha tupu arụmọrụ ha adalata, n'ihi na mmebi ọ bụla dị na ịdị ọcha gas nwere ike ịkpata nnukwu ntụpọ.

belata mkpụrụ, na ọbụna na-ebute mmebi akụrụngwa.

Kedu ihe eji eme ihe nzacha gas maka ngwa Semiconductor?

A na-eme ihe nzacha gas na-eji ngwa semiconductor site na ihe ndị nwere ike idowe ụkpụrụ ịdị ọcha kachasị elu

ma nagide ọnọdụ siri ike dị na nrụpụta. Ihe ndị a na-ahụkarị gụnyere:

Igwe anaghị agba nchara (316 l): Ihe kachasị eji eme ihe n'ihi nguzogide kemịkalụ ya, ike igwe, na

ike imepụta ya na nha nha nha nha site na iji teknụzụ sintering. Ọ dabara maka nzacha ma reactive

na inert gas.

Polytetrafluoroethylene (PTFE): PTFE bụ kemịkalụ inert ihe eji eme nzacha nke ukwuu ma ọ bụ na-emebi emebi

gas. Ọ nwere ezigbo ndakọrịta kemịkalụ na akụrụngwa hydrophobic, na-eme ka ọ dị mma maka mmetụta mmiri

usoro.

* Nickel na Hastelloy:

A na-eji ihe ndị a maka ngwa okpomọkụ dị elu ma ọ bụ maka usoro metụtara kemịkalụ ike

ebe igwe anaghị agba nchara nwere ike mebie.

* Ceramic:

A na-eji ihe nzacha seramiiki maka ngwa ebe achọrọ oke nguzogide okpomọkụ, ma ọ bụ maka obere micron

filtration nke ahụ.

Nhọrọ nke ihe na-adabere n'ụdị gas, ọnụnọ nke ụdị reactive, okpomọkụ, na

ndị ọzọ usoro parameters. Ihe ndị ahụ ga-abụrịrị ndị na-adịghị arụ ọrụ iji hụ na ha ewepụtaghị adịghị ọcha ọ bụla

ma ọ bụ ụmụ irighiri ihe n'ime usoro ahụ, si otú a na-edobe ọkwa ịdị ọcha gas chọrọ maka imepụta semiconductor.

Kedu ihe bụ ọrụ nke nzacha ihe eji eme ihe (POU) na nrụpụta Semiconductor?

Ihe nzacha ihe eji eme ihe (POU) dị mkpa na nrụpụta semiconductor, ebe ha na-ahụ na a na-asachapụ gas ozugbo tupu.

abanye ngwaọrụ usoro. Ihe nzacha ndị a na-enye nchebe ikpeazụ megide mmetọ ndị nwere ike banye na mmiri gas

n'oge nchekwa, njem, ma ọ bụ nkesa, si otú ahụ na-eme ka usoro nkwụsi ike na àgwà ngwaahịa.

Uru ndị bụ isi nke nzacha POU:

* Edobere n'akụkụ akụrụngwa dị oke mkpa (dịka ọmụmaatụ, etching ma ọ bụ ụlọ nkwụnye ego) iji gbochie mmetọ irute wafer.

* Wepụ ma ụmụ irighiri ihe na molekụla nke sistemu eji eji gas ma ọ bụ ikpughe gburugburu nwere ike webata.

* Gbaa mbọ hụ na a na-enyefe ikuku gas kachasị elu na ngwá ọrụ usoro, na-echebe akụrụngwa na ịkwalite mma nke ngwaọrụ arụpụtara.

* Belata mgbanwe usoro, mụbaa mkpụrụ, wee belata ọkwa nkwarụ.

* Ọ dị mkpa na gburugburu semiconductor dị elu ebe ọbụlagodi obere adịghị ọcha nwere ike imetụta nrụpụta na ntụkwasị obi ngwaahịa.

Kedu ka ihe nzacha gas si egbochi oge ngwa ngwa na usoro semiconductor?

Ihe nzacha gas na-egbochi oge akụrụngwa n'ime usoro semiconductor site n'ịhụ na gas na-eme ihe anaghị adị mgbe niile

ihe na-emerụ emerụ nke nwere ike imebi akụrụngwa nrụpụta. Imepụta Semiconductor gụnyere iji nke ukwuu

akụrụngwa na-emetụ n'ahụ, gụnyere ụlọ nkwụnye ego, igwe etching plasma, na sistemụ fotolithography.

Ọ bụrụ na mmetọ dị ka uzuzu, iru mmiri, ma ọ bụ adịghị arụ ọrụ na-abanye n'igwe ndị a, ha nwere ike ịkpata ọtụtụ nsogbu.

site na valvụ na-emechi emechi na nozzles ruo n'elu wafer na-emebi ma ọ bụ n'ime ime reactor.

Site na iji ihe nzacha gas dị elu, ndị na-emepụta ihe na-egbochi iwebata mmetọ ndị a, na-ebelata ohere nke

mmezi na-enweghị atụmatụ na mmebi akụrụngwa. Nke a na-enyere aka idowe usoro mmepụta ihe kwụsiri ike, na-ebelata

oge nkwụsị dị oke ọnụ, na izere nnukwu mmefu metụtara nrụzi ma ọ bụ ngbanwe.

Na mgbakwunye, ihe nzacha edobere nke ọma na-enyere aka ịgbatị ogologo ndụ nke ihe ndị bụ isi, dị ka ndị na-ahụ maka ịgbasa, valvụ, na reactors,

si otú ahụ na-eme ka arụmọrụ zuru oke na uru nke usoro mmepụta ihe.

Yabụ mgbe ịlele ụfọdụ nkọwa gbasara ihe nzacha gas semiconductor, ọ bụrụ na ị ka nwere ajụjụ ndị ọzọ.

Ị dịla njikere ịkwalite usoro nrụpụta semiconductor gị na ngwọta nzacha gas dị elu?

Kpọtụrụ HENGKO taa maka nduzi ọkachamara na ngwọta ahaziri iche iji gboo mkpa gị.

Mgbe enyochachara ụfọdụ nkọwa gbasara nzacha gas semiconductor, ọ bụrụ na ị nwetara ajụjụ ndị ọzọ?

Ị dịla njikere ịkwalite usoro nrụpụta semiconductor gị na ngwọta nzacha gas dị elu?

Kpọtụrụ HENGKO taa maka nduzi ọkachamara na ngwọta ahaziri iche iji gboo mkpa gị.

Email anyị naka@hengko.commaka ozi ndị ọzọ.

Ndị otu anyị nọ ebe a iji nyere gị aka ịkwalite nrụpụta nrụpụta gị yana ogo ngwaahịa gị.